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近日,由上海市計測院承擔的上海市質量技術監督局科技計劃項目《亞微米尺度顆粒/薄膜能譜成分定量分析方法研究》(項目編號:2014-02)順利通過專家驗收。
掃描電子顯微鏡配備的能譜儀是快速、準確獲得材料微區成分的主要手段。隨著亞微米尺度材料的廣泛研究,結合場發射電鏡及能譜儀的發展技術,《亞微米尺度顆粒/薄膜能譜成分定量分析方法研究》項目組通過降低掃描電鏡加速電壓,減少電子束擴散范圍,并以蒙特卡羅法模擬低電壓下電子束的運動軌跡,從而確定合適的低加速電壓。同時建立常見元素的低加速電壓EDS標準譜圖庫,解決低加速電壓EDS標準譜圖數據庫缺失的問題,并建立了亞微米尺度單顆粒、薄膜的吸收修正模型,優化低加速電壓下的定量校準方法。項目組發表文章4篇,根據項目研究方向建立了相應檢測方法,通過了新項目評審。
該項目成果彌補亞微米尺度能譜定性定量分析的空白,為亞微米尺度材料微區成分分析提供了技術支撐。將項目的研究成果應用于陶瓷固相反應燒結機理研究中,可以有效的進行反應機理研究,提高工作效率;將項目的研究成果應用于無損情況下確定鍍層厚度研究中,可以快速、準確地確定鍍層厚度,降低測試成本。
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